• Язык
   

 

Нанометрология

ISBN: 978-5-98704-494-0

Москва: Логос, 2011

Объем (стр):415

 

Постраничный просмотр для данной книги Вам недоступен.

Аннотация

Содержит основные сведения по метрологическому обеспечению наноиндустрии. Рассмотрены становление нанометрологии в XX— XXI вв. и концепции ее развития. Подробно изложены современные основы технического обеспечения нанометрологии. Освещены вопросы нестабильности, точности и неопределенности наноизмерений. Особое внимание уделено основным метрологическим операциям — поверке и калибровке. Материал по сканирующей зондовой микроскопии изложен на основе семи современных стандартов, введенных в 2008—2009 гг. Описаны организационные принципы нанометрологии, системы Гостехрегулирования через сеть региональных отделений вновь созданного Центра метрологического обеспечения нанотехнологий и отраслевых научно-исследовательских институтов. Приведен перечень вузов, работающих в сфере наноиндустрии, и указаны основные направления их исследований в данной области.
Для ученых, инженеров и других специалистов, разрабатывающих проблемы нанометрологии. Может использоваться в учебном процессе вузов при подготовке кадров в сфере нанотехнологии, метрологии и технического регулирования, а также в магистратуре и аспирантуре в этих научно-технических областях.

Содержание

СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ 5
ВВЕДЕНИЕ 9
ГЛАВА 1. СТАНОВЛЕНИЕ НАНОИНДУСТРИИ И КОНЦЕПЦИЯ РАЗВИТИЯ НАНОМЕТРОЛОГИИ
1.1. Возникновение нанометрологии 15
1.2. Нанометрология за рубежом 22
1.3. Положение России в сфере наноиндустрии 26
1.4. Концепция развития нанометрологии 34
ГЛАВА 2. ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ
2.1. Методы и средства интерференционных измерений 42
2.2. Использование принципов микроскопии в наноизмерениях 51
2.3. Сканирующая зондовая микроскопия 75
2.4. Разновидности ближнепольной микроскопии 112
2.5. Спектроскопия в нанометрологии 125
2.6. Хроматография в наноизмерениях 182
2.7. Сравнительный анализ технических средств нанометрологии 197
ГЛАВА 3. НЕСТАБИЛЬНОСТЬ, ТОЧНОСТЬ И НЕОПРЕДЕЛЕННОСТЬ НАНОИЗМЕРЕНИЙ
3.1. Основные положения 213
3.2. Измерение линейных размеров рельефных наноструктур 216
3.3. Точность измерения линейных наноразмеров 223
3.4. Погрешности измерения длины волны и частоты лазера 230
3.5. Нестабильность мощности излучения лазеров 236
3.6. Разрешающая способность растрового электронного микроскопа 238
3.7. Оценка расходимости лазерного излучения 240
3.8. Особенности наноизмерений в АСМ-режиме 243
3.9. Введение концепции неопределенности 248
3.10. Погрешность и неопределенность 253
3.11. Этапы оценивания погрешностей и неопределенностей 257
3.12. Пример вычисления погрешности эталона единицы длины (по данным ВНИИМ) 263
3.13. Определение содержания элементов методами атомной спектроскопии по ГОСТ Р 51309-99 267
3.14. Оценка неопределенности значений стандартных образцов 272
ГЛАВА 4. ПОВЕРКА И КАЛИБРОВКА В СФЕРЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ
4.1. Общие сведения 279
4.2. Рельефные меры для нанометрового диапазона 290
4.3. Измерительные растровые электронные микроскопы 312
4.4. Атомно-силовые измерительные зондовые микроскопы 321
4.5. Обеспечение единства измерений в лазерной технике, спектроскопии и хроматографии 334
ГЛАВА 5. ОРГАНИЗАЦИОННЫЕ ОСНОВЫ НАНОМЕТРОЛОГИИ
5.1. Основные положения 355
5.2. Стандартизация и сертификация в наноиндустрии 364
5.3. Цели и задачи регионального отделения ЦМО 368
5.4. Управление деятельностью регионального отделения ЦМО 369
5.5. Направления работ в области нанометрологии 376
5.6. Организация исследований и кадровое обеспечение наноиндустрии 378
5.7. Проблемы и задачи нанометрологии 386
ПРИЛОЖЕНИЕ 397
ЛИТЕРАТУРА 409

Рекомендации материалов по теме: нет