• Язык
   

 

Труды Физико-технологического института. Т. 26. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника : физика, технология, диагностика и моделирование

Дисциплина: Физика

Жанр: Научная литература

ISBN: 978-5-02-039983-9

М.: Наука, 2017

Объем (стр):135

 

Постраничный просмотр для данной книги Вам недоступен.

Аннотация

В настоящее время происходит бурное развитие технологий и приложений МНЭМС. Это, несомненно, связано с возможностью использования кремниевых (и не только) технологий микро- и наноэлектроники, а также всех видов САПР, применяемых в производстве ИС. Представленный сборник освещает лишь небольшую часть спектра возможных устройств, исследуемых в Физико-технологическом институте РАН. Первые две статьи посвящены «нестандартной» возможности использования механических систем в качестве элемента квантового бита. Далее рассматривается технология ключей с малыми управляющими напряжениями, что является актуальной проблемой, а также представлена статья по моделированию ключа с пружинным подвесом. В следующей статье описана технология глубокого анизотропного травления при изготовлении микроакселерометра. В трех последних статьях авторы несколько отступают от традиционного понимания МНЭМС, тем не менее, в них описана технология быстрых нейтральных пучков, которая может быть успешно применена и к производству таких систем.
Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.

Содержание

А.В. Цуканов, И.Ю. Катеев. Нано- и оптоэлектромеханические системы в структуре управления спиновыми кубитами на NV-центрах в алмазе 3
А.В. Цуканов. Зарядовые кубиты на полупроводниковых квантовых точках в механических резонаторах: управление фононными процессами 30
И.В. Уваров, В.В. Наумов, О.М. Королева, Е.И. Ваганова, И.И. Амиров. МЭМС-переключатели электростатического типа с низким напряжением срабатывания 55
В.Ф. Лукичев, К.В. Лебедев, В.А. Кальнов. Моделирование характеристик низковольтного МЭМС-переключателя латерального типа с пружинным элементом 75
И.И. Амиров, О.В. Морозов, И.В. Уваров, М.К. Аминов, М.О. Изюмов, В.А. Кальнов. Технология изготовления кремниевого чувствительного элемента микроакселерометра с использованием процессов глубокого анизотропного травления 85
В.П. Кудря, Ю.П. Маишев. Физические принципы диагностики пучков быстрых нейтральных частиц. I. Определение состава пучка и энергетических характеристик его компонентов 103
Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук. Установка для обработки материалов пучком быстрых нейтральных частиц 117
Ю.П. Маишев, С.Л. Шевчук, В.А. Мальгичев. Формирование и исследование пленок алмазоподобного углерода на рабочие поверхности имплантируемого насоса крови 124

Рекомендации материалов по теме: нет